气浮平台

核心材质‌：主体台面采用花岗岩材质，力学稳定性优异，热膨胀系数极低，吸震性强且不易锈蚀。

‌驱动方式‌：搭载PBA直线电机进行驱动，配合闭环反馈系统保障运动精度。

‌适配场景‌：可适配无尘室使用要求，无油污污染风险。

 核心技术特点

无接触摩擦：通过压缩空气形成均匀气膜，完全消除传统机械导轨的接触摩擦阻力，运动平滑度可达纳米级。

超高精度表现：可实现亚微米级位移控制，重复定位精度最高可达±25nm，最小步进可做到10nm级别。

动态性能优异：最大运动速度可达2m/s，加速度最高支持2g，一阶自然响应频率可达330Hz以上。

稳定性强：系统可实时监测气压变化并自动调节供气流量，维持恒定气膜间隙，保障长期工作的定位一致性。

典型应用领域

这款平台广泛适配对运动精度要求极高的工业场景：

半导体制造与晶圆检测

光学仪器高精度检测

钙钛矿光伏生产制程

显示面板、集成电路先进封装与检测环节