分类三

气浮平台

气浮平台是一种以气体为介质的悬浮系统，利用气体流动产生的气浮力来支撑和悬浮物体，实现无接触的悬浮效果。其原理是在平面界面上注入压缩空气或氮气，通过气体流动和气泡形成产生气浮力支撑悬浮物体，形成一层气体悬浮层，实现物体的悬浮，从而达到高精度加工、光刻和检测等目的。按运动方式气浮平台还分为直线运动平台和气浮转台两类。